固化用紫外线灯功率13.5KW

紫外线固化灯：

型号：UVL-14KM4-O

种类：金属卤素灯

额定功率：14KW

电流：28A

电压：49.5V

照度：38.5mW/CM²

发光管长度：500mm

电压范围：450～550V；点灯检测结果：495V。电流范围：24～32A；点灯检测结果：38.2A。功率：14，020W；365nm紫外线强度38.5mw/cm2。

被照射物体表面温度随着功率增大而变大，功率14KW是：100℃±3％

主要用处:紫外线固化设备。

特点①UVResin固化,框胶封边材料固化。

②主波长以365nm为中心构成。

③容量;可制作1kw到40kw，lamp隙间长可制作100mm到2700mm

④lampOutDia可到14mm~50mm 尼康NSR-2205i11D光刻机，解析度 ≤350nm 曝光功率 687.439mW 曝光均匀度 1.258 ％ 晶圆尺寸 8英寸 吞吐量 63wph 。固化用紫外线灯功率13.5KW

金属卤素灯在含有汞及氩气等稀有气体的UV灯的基础上添加铁掺合、钾掺合或其它稀土金属原素掺合。铁掺合卤素灯特别增强了380hm作为比较高波峰。主要适用于油墨、油漆的固化，干膜、湿膜，绿色阻焊的曝光。在网印和固化中带颜色，特别是涂层较厚的产品和白色、黑色的干燥有突出的效果。PCB、LCD行业：pcb 是电路板 uv灯管用于电路板的印刷一般使用METAL（金属卤素灯管），另外还有一种是曝光灯也属于金属卤素灯 PCB制作的时候，用于曝光显影的，一般用在电路板公司。lcd是显示屏，一般用低压冷紫外线灯管和固化用的灯管不一样，但是都属于紫外线灯，用途不一样。韩国原装进口紫外线灯SMV8000紫外线消毒标准，超高压汞灯、金属卤素灯，工业用灯选择。

高压汞灯在工作时，灯球体内的汞蒸气压达100个保准大气压以上。汞蒸气压愈高，灯的亮度也越高，紫外线强度也越大，而且汞原子谱线宽度变大，分子连续谱与带电粒子复合光谱也更强，特别是595nm以上的红光辐射随灯内工作压强的升高而增强，从而使灯的显色性提高。为了克服由于电极处于极高温度造成钨材料蒸发并沉积在球壁上造成紫外线穿透率下降，光衰加速，从工艺设计上对灯内充入微量卤素，达到有效清洁泡壳的作用，进而可延长汞灯使用寿命。

特定の気体と金属蒸気の放電によって発光する電極間隔が1〜10ｍｍ程度のランプで、点灯中の圧力は100kPa以上です。リソグラフィ用UVランプとして高い評価と信頼をいただいています。ORCショートアークUVランプは高効率で紫外線を放射する点光源として、露光、乾燥、その他あらゆる産業、研究分野で利用されています。お客さまの御要望にお応えする幅広いラインナップを取りそろえており、共同開発などの課題解決のお役に立てます。NSR-2205iL1 曝光光源是 i-line（365nm波长），分辨率≤350nm，NA为 0.45，曝光场22 mm x 22 mm。

ORC制作所株式会社的品质管理实施方法１．品质管理①ISO-9001的认证・QC工程表、依作业标准书的标准化・认定工程、依作业审定的教育训练②外注部件的品质：・实施定期的品质会议・确保外注部件的安定筹措③产品品质：・采用弊社独自的检查方式・高亮度照明设备・Ｘ线检查装置・弊社独自的点灯试验方法・产品的抽样检查

为了防范于未然，实施全数点灯试验。

通过本公司的精密的灯制造工程，灯的初期照度的偏差非常小，很受客户的好评。 i线步进式光刻机NSR-4425i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2501A。NSR-2205i14E2光刻机用紫外线灯

光刻机性能的三大指标分别是分辨率（CD）、套刻精度（overlay）、和产率（throngput，wph）。固化用紫外线灯功率13.5KW

工件台为光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。固化用紫外线灯功率13.5KW